포토 레지스트 현상 | ||
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포토 레지스트 현상 시, 기존에는 노광되는 부분에도 현상액이 침투되어 팽윤하였기 때문에 미세한 패턴을 형성할 수 없었음. 미스트 제트용 노즐에서 분사된 소량의 현상액을 고압 에어로 미스트화하고, 이러한 미스트가 고압 에어로 가속되면서 분사되면 포토 레지스트의 팽윤을 최소한으로 억제하면서 현상하여 보다 미세한 패턴의 현상이 가능해짐. |
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・wet 에칭 또는 전기 도금용 드라이 필름의 현상 |
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【에루포미스토젯토】사용 |
종래의 현상기 사용 |
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・샌드블라스트용 필름의 현상 |
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【에루포미스토젯토】사용 |
종래의 현상기 사용 |
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・wet 에칭 또는 전기 주조(도금)용 드라이 필름의 현상 스크린판의 현상에서는 기존의 스크린판 현상기에 비해 1/10 이하의 물을 사용하므로 패턴이 두꺼워지는 경우가 없어 기존의 현상기보다 미세한 패턴의 스크린 제판이 가능해짐. |
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・샌드블라스트용 액상 레지스트 현상 유기 용제계 현상액(물을 섞어 인화점을 없앰)을 고압 미스트화하여 현상하면 샌드블라스트의 내성이 높아져 미세한 샌드블라스트용 레지스트 막을 형성할 수 있음. |
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・기타 감광성 수지의 현상 감광성 전극 재료나 감광성 폴리이미드 등, 감광성 재료의 패턴 형성에서 기존의 현상보다 미세한 패턴을 형성할 수 있음. |
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