粉体噴射製膜加工(PJC加工)
PJC加工用装置高圧窒素ガス等の高圧ガスを使用して レジストパターンマスクを形成した 基板に金属パウダーを吹き付けます。 |
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金属パウダー吹き付けPJC加工図 |
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金属膜のパターン形成加工の完成アルミナ基板への銅電極パターン形成(PJC加工) |
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