覆膜机 | |
・脆性材料覆膜机对应使用桌面式的覆膜机可对应水晶・玻璃・半导体晶体等脆性材料不破损覆膜可能。 ・1枚也不浪费覆膜可能 感光性干式胶膜从切头开始自动覆膜, 没有浪费使用可能。 |
ELM-350 |
露光机 | |
・胶膜图样・玻璃图样均可使用 图案面具所用的玻璃面具图样和胶膜面具图样均可使用
・30μm的微細图案面具露光可能 高精度的rot system integrator和collimation mirror的利用高精度露光可能 |
EE-350H |
高圧喷雾式显像机 | |
・微細图样・高水准显像可以対応 显像液在雾化状态下喷射显像,微細的空隙之间显像液进入,显像时没有膨胀润化的情况,喷砂用抵抗保护厚膜所使用的微细图样形成是可能的。
・可以对应碱性显像・有机溶剂显像 喷砂使用感光性干式胶膜时用碱性显像液, 喷砂使用液态制膜时, 用有机溶剂显像液。 |
EWB-1SP |
液态制膜用SPINCOATER | |
・液态图样护膜及抵抗保护膜制成等涂抹 液态图样护膜及抵抗保护膜等是用离心力的方式涂抹形成的。
・涂膜条件在手触屏上入力可能 桌面旋转时间及涂抹时间等加工条件在手触屏上入力可能。 |
ESC-1 |
加工程序图 |
|
设备购入 加工相谈: 电话:0081-52-758-1102 传真:0081-52-758-1103 点击这里请与我们联系 |