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喷砂用感光性干式胶膜/液状制膜装置
覆膜机

・脆性材料覆膜机对应使用

桌面式的覆膜机可对应水晶・玻璃・半导体晶体等脆性材料不破损覆膜可能。

・1枚也不浪费覆膜可能

感光性干式胶膜从切头开始自动覆膜, 没有浪费使用可能。


ELM-350
露光机

・胶膜图样・玻璃图样均可使用

图案面具所用的玻璃面具图样和胶膜面具图样均可使用

・30μm的微細图案面具露光可能

高精度的rot system integratorcollimation mirror的利用高精度露光可能


EE-350H
高圧喷雾式显像机

・微細图样・高水准显像可以対応

显像液在雾化状态下喷射显像,微細的空隙之间显像液进入,显像时没有膨胀润化的情况,喷砂用抵抗保护厚膜所使用的微细图样形成是可能的。

・可以对应碱性显像・有机溶剂显像

喷砂使用感光性干式胶膜时用碱性显像液,

喷砂使用液态制膜时, 用有机溶剂显像液。


EWB-1SP
液态制膜用SPINCOATER

・液态图样护膜及抵抗保护膜制成等涂抹

液态图样护膜及抵抗保护膜等是用离心力的方式涂抹形成的。

・涂膜条件在手触屏上入力可能

桌面旋转时间及涂抹时间等加工条件在手触屏上入力可能。


ESC-1

加工程序图




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