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サンドブラスト用ドライフィルムパターニング装置/スクリーン印刷機

ラミネータ

・薄膜の脆性材料に対応

テーブル式の採用で水晶・ガラス・シリコンウエハー等 の脆性材料も割れることなくラミネート可能

・1枚から無駄なくラミネート可能

ドライフィルムを切った状態から自動でラミネートを行い、 無駄なくドライフィルムを使用可能

露光機

・フィルムマスク・ガラスマスクを使用

パターンマスクとしてガラスマスクと フィルムマスクのどちらでも使用可能

・30μmの微細パターンを露光可能

高精度ロッドインテグレータとコリメーションミラーにより 精度の高い露光が可能

高圧ミスト式現像機

・微細パターン・高アスペクト現像に対応

現像液をミスト化して噴射し現像を行うため、微細な隙間にも現像液が入り、 現像時も膨潤少なく厚膜のサンドブラスト用フォトレジストを使用して 微細なパターンを形成可能

・アルカリ現像・有機溶剤現像に対応

サンドブラスト用ドライフィルムを使用する場合はアルカリ 現像液を使用し、サンドブラスト用液レジを使用するときは 有機溶剤現像液使用

スクリーン印刷機

・精度良くサンドブラスト用レジストインクを印刷

基板に精度良く専用サンドブラスト用インクにて印刷後、UV照射
装置を使用してインクを硬化させる。
硬化したインクは耐サンドブラスト性に優れており、サンドブラスト
による穴加工やピン加工に使用可能

マイクロブラスト加工(微細サンドブラストパターン加工)のプロセス

マイクロブラスト加工プロセス図


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TEL:052-758-1102  FAX:052-758-1103
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