ELFO-MISTJET　　　　　　　 　　　HOME/문의　

고압 미스트식 포토레지스트 현상기

　ELFO-MISTJET의 특징
　・고해상력의 패턴 형성이 가능
　노즐에서부터 분사된 현상액미스트가 고압에어의 힘으로 속도가 떨어지지 않고 패턴 사이로 분사되기 때문에 종래보다 고해상도의 포토레지스트 패턴 현상이 가능하게 되었습니다.　
 　　
　・사용액의 양 절감
　현상액을 미스트화하여 분사하기 때문에 사용하는 현상액의 양이 종래의 샤워방식 현상기와 비교하여 1/10이하로 절감
　・패턴 팽창의 억제
　고압에어를 사용하여 미세한 미스트를 분사시키기 때문에 현상시의 포토레지스트의 팽윤이 적어져서 패턴의 팽창을 줄일수 있음
　

　ELFO-MISTJET의 시스템

고압 미스트식 현상기（ELFO-MISTJET）흐름도 ELFO-MISTJET 분사관련 시스템
현상액 가압탱크를 가압하여 고압에어룰 사용하여 가압된 고압미스트 분사노즐 내에 현상액을 공급하고 다시 고압미스트 분사노즐에서 고압에어로 미스트화 된 현상액을 포토레지스트에 분사하여 현상을 함
현상액은 미스트용 사이클론에 포집됨.
（특허번호：특허2007-523416）
　

　장비의 소개

 용도  드라이필름 현상
장비사이즈  W750×L700×
H1350mm
 노즐 폭  350mm
기판 사이즈  300×300mm
 현상액 탄산나트륨 수용액
 에어량  3.5m3/min(0.3MPa)
 현상액량  2리터/min
 전기용량  3상　200V　3kW
 용도  드라이필름 현상
장비사이즈  W1130×L1540×
H2010mm
 노즐 폭  500mm
기판 사이즈  450×450mm
 현상액 탄산나트륨 수용액
 에어량  5m3/min(0.3MPa)
 현상액량  3리터/min
 전기용량 3상　200V　5kW
 용도  스크린판 현상
장비사이즈  W1500×L1380×
H2350mm
 노즐 폭  500mm×2개
기판 사이즈  650×750mm
 현상액  물
 에어량  10m3/min(0.3MPa)
 현상액량  6리터/min
 전기용량  3상　200V　5kW
 용도  드라이필름 현상
장비사이즈  W750×L700×
H1350mm
 노즐 폭  600mm×2개
기판 사이즈  510×610mm
 현상액 탄산나트륨 수용액
 에어량  12m3/min(0.3MPa)
 현상액량  7리터/min
 전기용량 3상　200V　8kW