절연성이 높은 전용 SR(솔더 레지스트)대체 시트를 기판에 붙여 정밀 샌드블라스트 가공(마이크로블라스트 가공)으로 절삭 패턴 형성을
함. 슬릿 방식의 노즐을 이용하여 평균 입자크기 8um 정도의 미세 입자 연마제를 분사하여 가공을 함. |
레이져 Via 가공으로 녹은 동의 부분을 연마, 제거하여 기판 표면을 클리닝 가공 |
종래의 현상기와 비교하여 고해상력의 현상이 가능하게 됨. |
L/S=4.5um(15um두께DFR) | L/S=10um(25um두께DFR) | Space30um(112um두께DFR) | ||