샌드블라스트용 드라이필름 패터닝 장비/스크린 인쇄기
정밀 샌드블라스트 가공(마이크로블라스트 가공)에서 가공기판에 마스킹을 하는 장비
 라미네이터 |
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샌드블라스트용 드라이필름을 기판에 밀착하기 위한 라미네이터 | |
 특징 |
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 박막의 취약성재료에 대응박막의 취약성 재료에도 깨짐이 없이 라미네이팅이 가능 원형에 두께가 있는 세라믹판에 대응두께가 있는 세라믹에도 라미네이팅이 가능 드라이필름이 허비없이 라미네이팅이 가능드라이필름을 절단한 상태에서 자동으로 라미네이팅을 하여 허비없이 드라이필름을 사용 가능 |
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| 노광기 |
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샌드블라스트용 드라이필름이나 감광성 액상레지스트에 패턴노광을 함 | |
| 특징 |
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| 얼라이먼트 기능 탑재 CCD카메라와 모니터를 사용하여 제품과 패턴 마스크의 위치 정합이 가능 30μm의 미세패턴 형성이 가능고압 미스트 현상기와 조합하여 50μm의 드라이필름을 사용하여 30μm의 패턴 형성이 가능 (고성능 로드적분기 채용) |
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| 현상기 |
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샌드블라스트용 드라이필름의 현상을 함 | |
| 특징 |
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| 박판부터 후판까지 균일한 현상이 가능 샌드블라스트 가공용으로 개발한 현상기로서 박판에서 후판까지 취약성 재료의 현상이 가능 미세한 패턴의 패턴형성이 가능고압미스트 현상기를 사용하는 것으로서 30μm라인의 패턴 형성이 가능 |
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| 스크린 인쇄기 |
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샌드블라스트용 레지스트 잉크를 기재로 패턴 인쇄를 함 | |
| 특징 |
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| 정도가 높은 스크린 인쇄가 가능 스크린판을 늘이지 않고 인쇄하기 때문에 정도가 높은 인쇄가 가능 샌드블라스트에 내성이 높은 레지스트 형성이 가능샌드블라스트 전용 레지스트 잉크를 사용하여 샌드블라스트에 높은 내구성을 가진 레지스트막을 형성 가능 |
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마이크로블라스트 가공(미세 샌드블라스트 패턴 가공)의 프로세스
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라미네이터 샌드블라스트용 드라이필름을 라미네이팅하여 가공 기판에 밀착시킴 라미네이터의 압력이나 기판의 온도를 조정하여 사용 |
| 노광 라미네이터에서 드라이필름을 밀착한 기판상에 패턴 마스크를 올려 자외선으로 노광을 함 |
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| 현상 샤워로 0.3%의 탄산 나트륨 수용액을 분사하여 자외선에 경화되지 않은 부분을 씻어 냄 |
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| 마이크로블라스트 가공(미세 샌드블라스트 가공) 노즐에서 연마제를 분사하여 기판의 절삭가공을 함 샌드블라스트용 드라이필름에 의하여 마스킹되어 있지 않은 부분이 깍임 |
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| 드라이필름 박리 모노에탄올아민이나 수산화 나트륨 수용액 등의 박리액을 사용하여 기판에서 드라이필름을 박리 함 |
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