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高圧ミスト式フォトレジスト現像機

　エルフォミストジェットの特徴

 高圧ミスト噴射状態
　・高アスペクト比なパターン形成が可能
　ノズルから噴射された現像液ミストが高圧エアーの力で失速すること無くパターンの隙間に噴射されるため、従来より高アスペクト比なフォトレジストのパターン現像が可能となる。　
高圧ミスト現像加工例SEM写真
 　　
　・使用液量の低減
　現像液をミスト化して噴射するため、使用する現像液の液量が従来のシャワー方式現像機と比較して1/10以下に低減
　・パターン裾引きの低減
　高圧エアーにて微細なミストを吹き付けるため、現像時のフォトレジストの膨潤が少なくなり、パターンの裾引きが低減できる。
高圧ミスト現像とシャワー現像との比較図
　

　エルフォミストジェットのシステム

高圧ミスト式現像機（エルフォミストジェット）フロー図 エルフォミストジェット噴射関連システム
高圧ミスト現像機のフロー図 高圧ミスト現像のシステム図
現像液加圧タンク内を加圧して高圧エアーにて加圧された高圧ミスト噴射ノズル内に現像液を供給し、高圧ミスト噴射ノズルから高圧エアーにてミスト化された現像液をフォトレジストに噴射して現像を行う。
現像液はミスト用サイクロンに捕集される。
（特許番号：特願2007-523416）
　

　装置の紹介

小型ミスト現像機写真 高圧ミスト現像機EWB-3AR写真 スクリーン版用高圧ミスト現像機写真 高圧ミスト現像機EWB-5ARの写真
 用途  ドライフィルム現像
装置サイズ  W750×L700×
H1350mm
 ノズル幅  350mm
基板サイズ  300×300mm
 現像液 炭酸ナトリウム水溶液
 エアー量  3.5m3/min(0.3MPa)
 現像液量  2リットル/min
 電気容量  3相　200V　3kW
 用途  ドライフィルム現像
装置サイズ  W1130×L1540×
H2010mm
 ノズル幅  500mm
基板サイズ  450×450mm
 現像液 炭酸ナトリウム水溶液
 エアー量  5m3/min(0.3MPa)
 現像液量  3リットル/min
 電気容量 3相　200V　5kW
 用途  スクリーン版現像
装置サイズ  W1500×L1380×
H2350mm
 ノズル幅  500mm×2本
版枠サイズ  650×750mm
 現像液  水
 エアー量  10m3/min(0.3MPa)
 現像液量  6リットル/min
 電気容量  3相　200V　5kW
 用途  ドライフィルム現像
装置サイズ  W750×L700×
H1350mm
 ノズル幅  600mm×2本
基板サイズ  510×610mm
 現像液 炭酸ナトリウム水溶液
 エアー量  12m3/min(0.3MPa)
 現像液量  7リットル/min
 電気容量 3相　200V　8kW