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エルフォドライクリーナー乾式基板洗浄装置１μｍ以下の超微粒子も完全除去従来の乾式洗浄装置では不可能であった１μｍ以下の微粒子も完全除去表面に付着した汚れも完全除去負圧による洗浄用粉体の流れにより基板表面を傷つけること無く付着した汚れも完全除去基板表面の研磨加工も可能に洗浄粉体を硬度が高く切削性のある粉体にすることにより基板表面の研磨加工が可能になる。乾式のため基板の乾燥工程が不要洗浄液を使用しない乾式洗浄のため基板の乾燥工程が不要となり洗浄コストが低減される。クリーンルームでの使用が可能負圧のエネルギーを使用して洗浄を行うために、装置からの紛体の飛散もなくクリーンルームでの使用が可能となる。エルフォドライクリーナーの用途基板クリーニングディスプレイ用ガラス基板のクリーニングプリント基板の表面クリーニング太陽電池用基板のクリーニングサンドブラストパターン加工後の基板洗浄レーザー加工後の基板洗浄基板表面に洗浄用粉体を吹きつけ、基板上の微粒子や汚れを洗浄用粉体と一緒に高圧吸引することにより基板表面のクリーニングを行う。基板表面に粉体の流れを作り基板洗浄を行う。表面の油汚れ等除去可能油を吸収しやすい洗浄粉末を使用することにより切削油等表面に付着した油も除去可能。金属焼き入れ後の酸化膜除去金属機械加工後の切削油洗浄
