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ｻﾝﾄﾞﾌﾞﾗｽﾄ用ﾄﾞﾗｲﾌｨﾙﾑ/液ﾚｼﾞﾊﾟﾀｰﾝﾆﾝｸﾞ装置ラミネータ高圧ミスト式現像機露光機薄膜の脆性材料に対応テーブル搬送方式の採用で水晶・ガラス・シリコンウェハー等の脆性材料も破損することなくラミネート可能１枚から無駄無くラミネート可能ドライフィルムを切った状態から自動でラミネートを行い、無駄なくドライフィルムを使用可能微細パターン・高アスペクト現像に対応フィルムマスク・ガラスマスク使用可能パターンマスクとしてガラスマスクとフィルムマスクのどちらでも使用可能３０μmの微細パターンを露光可能高精度のロッドインテグレータとコリメーションミラーにより精度の高い露光が可能EEX-350HEWB-1SPELM-350液レジ用スピンコータESC-1液レジおよび保護膜等を塗布液レジおよび保護膜等を遠心力により一定の膜圧に塗布塗布条件をパネルより入力可能テーブル回転時間及び塗布時間等をタッチパネルより入力可能現像液をミスト化して噴射し現像を行うため、微細な隙間にも現像液が入り、現像時も膨潤少なく厚膜のサンドブラスト用フォトレジストを使用して微細なパターンを形成可能アルカリ現像・有機溶剤現像に対応サンドブラスト用ドライフィルムを使用する場合はアルカリ現像液を使用し、サンドブラスト用液レジを使用するときは有機溶剤現像液使用
