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エルフォブラスターの特徴加工能力の高い直圧式ノズルの口径及び圧力の設定によりノズルの能力を１０倍以上に低圧から高圧まで安定噴射可能0.01ＭＰａの低圧から0.4ＭＰａの高圧まで安定して噴射可能噴射量・圧力等の設定をタッチパネルより入力可能研磨材の噴射量及び加工圧力をタッチパネルから設定可能ノズル高さをタッチパネルから設定可能加工中に噴射量・加工圧力・ノズル圧力等を任意に可変＃３０００から＃１２までの広範囲な研磨材使用可能分級可変サイクロンにより微粒子から粗い粒子まで分級可能研磨材供給ローラーを変えることにより微粒子から粗い粒子まで噴射可能高精度フィルターを使用して異物を分離可能最小２６μmの開口フィルターを使用して研磨材中の異物を除去エルフォミストジェットの特徴直圧式ｻﾝﾄﾞﾌﾞﾗｽﾄ噴射状態ｻｸｼｮﾝ式ｻﾝﾄﾞﾌﾞﾗｽﾄ噴射状態ファインパターン形成（現像）ノズルから噴射されたミストが高圧エアーの力で失速することなくパターンの隙間に噴射され、フォトレジストの現像では、従来のシャワー方式（ポンプ式）では不可能であったファインパターン形成が可能使用液量の低減（現像・洗浄）現像液・洗浄液等をノズルから噴射するときにミスト化し高圧エアーにて噴霧するため、噴霧液量が従来のポンプを使用したシャワー方式と比較して1/10以下に低減可能パターンの裾引きの低減（現像）パターンの間に溜まった現像液を高圧エアーにて吹き飛ばしながらミスト化した現像液をパターンの隙間に吹き付けるため、フォトレジストの膨潤が抑えられパターンのコーナー部まで現像されレジストパターンの裾引きが低減加工圧力のコントロール（現像・洗浄）ノズルに導入する現像液・洗浄液等の高圧液の圧力を高圧エアーにて制御し高圧エアーの圧力制御は電空レギュレータを使用して精度良くコントロール可能高圧液の圧力及び高圧エアーの圧力はタッチパネルより自在に設定可能加圧エアー加圧液
