絶縁性の高い専用ソルダーレジスト代替シートを基板に貼り付けて、精密サンドブラスト加工(マイクロブラスト加工)で切 削パターン形成を行う。 スリット式のノズルより平均粒径8ミクロン程度の微粒研磨材を噴射して加工を行う。 |
レーザービア加工で溶けた銅の部分を研磨 除去 して基板表面クリーニング加工 |
従来の現像機と比較して、高アスペクトな現像が可能になった。 |
L/S=4.5ミクロン(15ミクロン厚DFR) | L/S=10ミクロン(25ミクロン厚DFR) | スペース30ミクロン(112ミクロン厚DFR) | ||